Mikrotechnológiai infrastruktúra korszerűsítése az európai kompatibilitás eléréséhez

Projekt megnevezése: Mikrotechnológiai infrastruktúra korszerűsítése az európai kompatibilitás eléréséhez

Támogató: Pénzügyminisztérium

A projekt az Európai Unió és Magyarország Kormánya közös finanszírozása keretében az Európai Regionális Fejlesztési Alap támogatásával a Versenyképes Közép-Magyarország Operatív Program – Stratégiai K+F műhelyek kiválósága részben valósul meg.
Kedvezményezett: HUN-REN Energiatudományi Kutatóközpont
Projekt azonosító: VEKOP-2.3.3-15-2016-00010
Konzorciumvezető/Témavezető: Dr. Dücső Csaba
A projekt támogatásának összege: 234 906 000 Ft
A projekt saját forrásának összege: 0 Ft
Támogatásintenzitás: 100%
Futamidő: 2017.04.01-2020.09.28

A projekt rövid leírása:

A projekt célja a HUN-REN Energiatudományi Kutatóközpont Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet Mikrotechnológiai Laboratóriumának tisztaterében a meglévő elavult diffúziós kályha kiváltása egy korszerű berendezéssel, úgy hogy 4 dedikált csőkemencében, félvezető tisztasági követelmények mellett lehet Si kristályok magas hőmérsékletű megmunkálását lehessen végezni. Az új eszköz alapvető műveletei és a kályhák funkciói:
– Száraz és nedves oxidáció áramköri elemek előállításához
– Száraz és nedves oxidáció 3 D struktúrák kialakításához
– Magas hőmérsékletű (800-1100oC) aktivációs és diffúziós műveletek inert és oxidatív közegben
– Közepes hőmérsékletű (<550oC) hőkezelések semleges v. enyhén reduktív környezetben

A berendezés Uniós értékhatárt meghaladó, nyílt közbeszerzési eljárás lefolytatását követően telepítésre kerül a HUN-REN EK MFA Mikrotechnológiai Laboratórium tisztaterében (1121 Budapest, Konkoly Thege Miklós út 29-33, KFKI telephely, 29. épület). Megtörténik a betanítás. A minták megvizsgálása megtörténik, és a minták megfelelnek a félvezető/MEMS technológiák szabta követelményeknek. A berendezéssel a laboratórium technológiája közelíti a megfelelő európai technológiai intézmények (egyetemek, kutatóintézetek) színvonalát és a csereszabatos minták készítésével lehetővé teszi a hatékonyabb együttműködést nemzetközi kutatási projektekben.

A Thermco gyártmányú Si kristály oxidációs/hőkezelő kályhát a 2020. szeptemberi üzembe helyezés óta folyamatoson használjuk K+F projektjeinkben, szerződéses munkáinkban és ezekhez a munkáinkhoz kapcsolódó egyetemi oktatási feladatainkban is. A benne elvégzett műveletek gyakorlatilag minden kísérleti eszköz előállításához – igy a projektjeink 80-90%-hoz nélkülözhetetlenek.  Kb. egyenértékű a villamos energia szolgáltatással.

A berendezést hazai és nemzetközi K+F projektekben, szolgáltatási feladatokban, valamint BSc, MSc diplomamunkák és PhD munkák kísérleteiben, továbbá egyetemi kapcsolatainkban (Óbudai Egyetem, BME, Pázmány Péter TE ITK SZTE) technológiai alapismeretek oktatása során is használjuk.

Az utóbbi években a lefgonotosabb kapcsolódó projektek:

• TKP2021-NVA-03, „Vészhelyzetben és szélsőséges körülmények között alkalmazható környezetmonitorozó szenzorok” gáz- és rezgés érzékelők https://www.mfa.kfki.hu/kutatas/projektek/vox/
• TKP2021-EGA-04, „Innovatív bioérzékelési módszerek egészségügyi alkalmazásokhoz” https://www.mfa.kfki.hu/kutatas/projektek/inbiom/  
• OPERA – European Network for Innovative and Advanced Epitaxy, COST ACTION CA20116
• QNL (Kvantuminformatika Nemzeti Laboratórium)
• QuKiT: Quantum bits with Kitaev Transmons” (Horizon-EIC-2022 Pathfinder Challange)
• UNLOOC – Unlocking data content of Organ-On-Chips, Horizon-KDT-JU-2023-1-IA-Topic-1-Global call according to SRIA 2023(IA) https://www.unlooc.eu   
• INTAKE: Integrated Nanocomposites for Thermal and Kinetic Energy Harvesting, EU Research and Innovation Staff Exchange – RISE
• Hungarian Centre for Heterogeneous Integration and Packaging – HCHiP – Chips JU, DIGITAL Simple Grant (DIGITAL-Chips-2024-SG-CCC-1), Chips Competence Centres under the Digital Europe programme https://www.hchip.hu
• Mikro- és Nanotechnológiai Kutatólaboratórium – Nemzeti Kutatási Infrastruktúra 2023

2019.09.10.

A diffúziós kályha beszerzésére kiírt nyílt közbeszerzési eljárását – harmadik körben – a Tetreon Technologies Limited cég nyerte. (Bővebben: https://www.kozbeszerzes.hu/ertesito/2019/0/targy/portal_403/megtekint/portal_16078_2019/) A berendezés telepítésére várhatóan 2020 júniusában kerül sor.

2020.09.26

A diffúziós kályhát 2020.szeptemberében telepítettük és teszteltük. A kályháról a videó az alábbi linken elérhető

https://www.mfa.kfki.hu/wp-content/uploads/2020/10/Diffuizos-kalyha-202009.avi

SAJTÓKÖZLEMÉNY

2020.10.26

Uniós támogatással létesített korszerű oxidációs kályha segíti az ipari szenzorfejlesztést az Energiatudományi Kutatóközpontban

Az ELKH Energiatudományi Kutatóközpont (ELKH EK) Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézetén belül működő Mikrotechnológiai Laboratórium félvezető technológiai tisztaterében nemrégiben üzembe helyezték azt az uniós támogatással létesített új oxidációs kályhát, amely a kutatást, az oktatást és az ipari szenzorfejlesztést segíti majd. A fejlesztés általános célja, hogy korszerűbbé tegye az ELKH EK mikrotechnológiai infrastruktúráját, és ezzel is elősegítse az európai kompatibilitás elérését.

Az infrastruktúrafejlesztési projekt keretében beszerzett oxidációs kályha a meglévő, elavult diffúziós kályhát váltja ki egy korszerű berendezéssel. A telepített kályha elengedhetetlen a félvezetőtechnológiai eljárásokkal előállított szilíciumalapú mikromechanikai chipek és szenzorok megmunkálásához. Az új eszköz a félvezető tisztaságú szilícium kristályszeletek száraz és nedves oxidációja mellett a technológiai igényeknek megfelelő közegben végzett hőkezelési eljárásokra is alkalmas a 300–1150 ^oC hőmérséklet-tartományban.

Az új berendezéssel a laboratórium általános technológiai színvonala és megbízhatósága is jelentős mértékben javul, ezért a projekt ezzel is hozzájárul a hagyományosan sikeres nemzetközi és hazai K+F projektek számának bővítéséhez, emellett újabbak kezdeményezése révén elősegíti a nagy európai K+F konzorciumokhoz történő kapcsolódást. Az új oxidációs kályha már jelenleg is nélkülözhetetlen technológiai berendezés többek között a H2020 ECSEL „Kísérleti gyártósor új generációs intelligens katéterek és implantátumok gyártására (POSITION II)” uniós projekt, a „Moore-trend az orvostechnikai innovációban (Moore4Medical)” projekt, illetve az orosz–magyar együttműködésben fejlesztett „Kis fogyasztású kalorimetrikus nanoszenzorok gázérzékelésre” című projekt szenzorfejlesztéseiben.

A nemzetközi kapcsolatok mellett kiemelt szerepet szánnak a hazai ipari igények kiszolgálásának és a felsőoktatási képzések aktív támogatásának is.

A projekt az Európai Unió és Magyarország Kormánya közös finanszírozásának keretében az Európai Regionális Fejlesztési Alap támogatásával, a Versenyképes Közép-Magyarország Operatív Program – Stratégiai K+F műhelyek kiválósága részben valósult meg, közel 235 millió forint keretösszeggel.

PRESS RELEASE

26^th October, 2020

New oxidation furnace to strengthen the MEMS development in the Centre for Energy Research

A new oxidation furnace has been put in operation in the MEMS Laboratory of the Centre for Energy Research, a member of the Eötvös Lóránd Research Network. Financed by the European Union, the investment is a major step in the upgrade of the existing Si processing line, thereby facilitating both the R&D activities and higher education training in the field of sensor development and related material research.

The four tube system is set for dry and wet oxidation as well as for medium and high temperature annealing processes needed in Si based MEMS fabrication. The new is essential for the competitive R&D activity. This is well indicated by the ongoing international projects of the laboratory H2020 ECSEL „A pilot line for the next generation of smart catheters and implants (POSITIONII)” and “Enabling Moore for Medical (Moore4Med)” projects as well as by the Russian-Hungarian bilateral sensor development entitled “Low power consumption-type nanosensors for gas detecting in harsh environment”.

Besides the international activity, the research group of the Laboratory is highly committed to support the domestic industrial needs and higher education by hosting BSc and MSc students and offering PhD research topics.

The project value of total 235M HUF was jointly granted by the European Union and the Hungarian Government from the European Regional Development Funds, via the Competitive Central-Hungary Operative Programme – Strategic R&D centres.

A sajtóközlemény letölthető az alábbi linken magyar és angol nyelven. The press release can be downloaded in English and Hungarian by clicking the link below.

Sajtóközlemény – 2020.10.26 (Uniós támogatással létesített korszerű oxidációs kályha segíti az ipari szenzorfejlesztést az Energiatudományi Kutatóközpontban)

A projekt és a fenntartási időszakok során megjelent fontosabb publikációk (frissítve 2025.10.03)

• I.Rigó, ∗, M. Veres , Zs. Pápa , L. Himics , R. Öcsi , O. Hakkel , P. Fürjes: Plasmonic enhancement in gold coated inverse pyramid substrates with entrapped gold nanoparticles  Journal of Quantitative Spectroscopy & Radiative Transfer 253 (2020) 107128 https://doi.org/10.1016/j.jqsrt.2020.107128
• Radó János,  Dücső  Csaba, Szebényi Gábor, Zbigniew Nawrat  Fürjes Péter: ERÕVISSZAJELZÉS ÉS MESTERSÉGES TAPINTÁS A MINIMÁLISAN INVAZÍV SEBÉSZETBEN  FIZIKAI SZEMLE 2020 / 4 http://fizikaiszemle.hu/archivum/2020
• Nguyen Quoc Khánh, János Radó, Zsolt Endre Horváth, Saeedeh Soleimani, Binderiya Oyunbolor & János Volk : The effect of substrate bias on the piezoelectric properties of pulse DC magnetron sputtered AlN thin films  Journal of Materials Science: Materials in Electronics volume 31, pages 22833–22843 (2020) https://link.springer.com/article/10.1007/s10854-020-04810-9
• Samotaev Nikolay, Dzhumaev Pavel, Oblov Konstantin, Pisliakov Alexander, Obraztsov Ivan, Ducso Csaba, Biro Ferenc: Silicon MEMS Thermocatalytic Gas Sensor in Miniature Surface Mounted Device Form  CHEMOSENSORS 9 : 12 Paper: 340 , 10 p. (2021) https://doi.org/10.3390/chemosensors9120340
• János Radó , Ronald Dekker, Marcus C. Louwerse, Vincent A. Henneken, Machiel Peters,Péter Fürjes, and Csaba Dücső: Force Sensor Chip With High Lateral Resolution for Artificial Skin and Surgical Applications  IEEE SENSORS JOURNAL, VOL. 22, NO. 19, 1 OCTOBER 2022 https://doi.org/10.1109/JSEN.2022.3199554
• Pósa László, Molnár György, Kalas Benjamin, Baji Zsófia, Czigány Zsolt, Petrik Péter, Volk János A Rational Fabrication Method for Low Switching-Temperature VO2   NANOMATERIALS 11 : 1 Paper: 212 , 9 p. (2021)  https://doi.org/10.3390/nano11010212
• Bíró F., Deák A., Bársony I., Samotev N., Dücső C. An analytical method to design annular microfilaments with uniform temperature   MICROSYSTEM TECHNOLOGIES 28 : 11 pp. 2511-2528. , 18 p. (2022)  https://doi.org/10.1007/s00542-022-05376-8
• Baji Zsofia, Cora Ildiko, Horvath Zsolt Endre, Agocs Emil, Szabo Zoltan: Atomic layer deposition and characterization of Zn-doped Ga2O3 films   JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS 39 : 3 Paper: 032411 , 9 p. (2021)  https://doi.org/10.1116/6.0000838
• Tamás Dózsa , János Radó , János Volk , Ádám Kisari, Alexandros Soumelidis  and Péter Kovács: Road Abnormality Detection Using Piezoresistive Force Sensors and Adaptive Signal Models  IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT, VOL. 71, 2022 https://ieeexplore.ieee.org/document/9848443
• Alekszej Romanenko, Benjamin Kalas, Petra Hermann, Orsolya Hakkel, Levente Illés, Miklós Fried, Peter Fürjes, Gergö Gyulai, and Peter Petrik: Membrane-Based In Situ Mid-Infrared Spectroscopic Ellipsometry: A Study on the Membrane Affinity of Polylactide-co-glycolide Nanoparticulate Systems  Anal. Chem. 2021, 93, 981−991 https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.analchem.0c03763
• Horváth, Ágoston Csaba and Borbély, Sándor and Mihók, F. and Fürjes, Péter and Barthó, Péter and Fekete, Zoltán: Histological and electrophysiological evidence on the safe operation of a sharp-tip multimodal optrode during infrared neuromodulation of the rat cortex  SCIENTIFIC REPORTS, 12 (1). ISSN 2045-2322 https://doi.org/10.1038/s41598-022-15367-4
• Zsófia Baji, Zsolt Fogarassy, Attila Sulyok and Péter Petrik: Investigation of theTetrakis(dimethylamino)hafnium and H2S ALD Process: Effects of Deposition Temperature and Annealing  Solids 2022, 3, 258–270. https://doi.org/10.3390/solids3020018
• Zoltán Szabó, Vilmos Rakovics, Barbara Beiler, Péter Fürjes: Wide emission-spectrum NIRLED based on in-chip efficient photon-recycling 13th International Conference of Electroluminescence and Optoelectronic Devices, London UK 2022.12.05-12.07
• Zsombor Szomor , Eszter L. Tóth , Péter Fürjes: Comprehensive analysis of mixing processes within microdroplets  Mátrafüred – International Meeting on Chemical Sensors 2022 – Visegrád, Hungary
• Dóra Bereczki , András Füredi, Péter Fürjes: Plate reader compatible microfluidic cuvette for UV-excited fluorescent spectroscopy  Lab-on-a-Chip and Microfluidics Europe 2022 – Rotterdam, The Netherlands
• Lilia Bató , Péter Fürjes: A fluorescent detection on method to measure the diffusion coefficients of proteins in a free-diffusion based microfluidic system  Lab-on-a-Chip and Microfluidics Europe 2022 – Rotterdam, The Netherlands
• Lilia Bató , Péter Fürjes: Individual cell trapping and viability testing in microfluidic device  Mátrafüred – International Meeting on Chemical Sensors 2022 – Visegrád, Hungary
• Dóra Bereczki , András Füredi, Péter Fürjes: Plate Reader Compatible Microfluidic Chambers for Fluorescent Spectroscopy  Mátrafüred – International Meeting on Chemical Sensors 2022 – Visegrád, Hungary
• Zsombor Szomor , János M. Bozorádi , Barbara Beiler , Zoltán Szabó , Péter Fürjes In-situ op cal characterisation of droplet generation in two-phase microfluidic system  MNE-Eurosensors Conference 2022 – Leuven, Belgium
• János M. Bozorádi , Attila Nagy , János Radó , Péter Földesy , István Bársony ,Géza Papp , Csaba Dücső , Péter Fürjes Characterisation tissue elasticity by MEMS force sensors  MNE-Eurosensors Conference 2022 – Leuven, Belgium
• Zsombor Szomor , Eszter L. Tóth , Péter Fürjes 3D Finite Element Modelling of heat transfer in continuous flow two-phase droplet microfluidic systems using on-chip thermal control  THERMINIC 29  International Workshop – Budapest, Hungary, 2023
• Zsombor Szomor , Eszter L. Tóth , Péter Fürjes Finite element modelling and analysis of fluid dynamic phenomena in two-phase droplet based microfluidic systems  XXIX. Congress of Hungarian Biophysical Society – Budapest, Hungary, 2023
• Péter Fürjes: Microsystems for Biomedical Applications  Balluff Expert Presentations, 2023
• Péter Fürjes: Microsystems for Biomedical Applications  BME-SSI conference
• Lilia Bató: An obstacle-free microfluidic system for monitoring protein diffusion  MFBT konferencia, Budapest, 30.08.2023
• Lilia Bató, Péter Fürjes: Microfluidic system with integrated electrode array for high-throughput EIS analysis of localised cells  Eurosensors konferencia 2023 – Lecce, Italy
• Zoltán Szabó, Kitti Pankász, János Bozorádi, Orsolya Hakkel, Szabolcs Bella, Bianka Fabinyi, Sandro Meucci and Péter Fürjes Microfluidic Cuvette for Near Infrared Spectroscopy  Eurosensors konferencia 2023 – Lecce, Italy
• Zsombor Szomor, Lilia Bató , Silvia Stágl, Orsolya Hakkel, Attila Sulyok, Csaba Dücső, Zsófia Baji  and Péter Fürjes Non-Stoichiometric Titanium-Oxide Gate Electrodes for EGFET Based pH Sensors  Eurosensors konferencia 2023 – Lecce, Italy
• Dóra Bereczki, Ines Lidia Haffaressas, Péter Fürjes, András Füredi, Péter Fürjes Optical parameters of leukemia-related chemotherapeutic drugs  IATDMCT 2023 konferencia – Oslo, Norway
• Z. Fogarassy, J.Á. Vándorffy, l. Pósa, P.L Neumann, Z. Szabó, A. Sulyok, J.Volk and Z. Baji, Comparision of VO2 layers prepared with different approaches, JVC, Split, Croatia, 2024
• Zs Baji, Zs. Fogarassy, Z. Szabó, Zs. Bérces, P. Vancsó:  Atomic layer deposition of TiSx films. Is the TTIP –H2S process  fesible? AVS 24th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2024) , Helsinki, 2024 https://ald2024.avs.org/wp-content/uploads/2024/04/Abstract-Book.pdf
• K. Pankász, Cs. Dücső: Chip-set for chemoresistive gas sensors. Eurosensors XXXVI, 1-4 September, 2024, Debrecen, Hungary https://static.akcongress.com/downloads/eurosensors/es2024-poster-program.pdf
• Tamás Zeffer, Tímea Török, Ernő Simonyi, Ferenc Braun, Csikósné Pap Andrea, János Volk: Towards fully hardware-based neuromorphic encoding for efficient vibration signal recognition  Eurosensors XXXVI, 1-4 September, 2024, Debrecen, Hungary  https://static.akcongress.com/downloads/eurosensors/es2024-poster-program.pdf
• Lilia Bató , János M. Bozorádi , Zoltán Vizvári, Péter Fürjes:  Microfluidic device for impedance tomography Fürjes Mátrafüred – international Meeting on Chemical Sensors  2024- Visegrad, Hungary
• Lilia Bató, János M. Bozorádi, Péter Fürjes: Microfluidic device for EIS and optical monitoring of cells Mátrafüred – international Meeting on Chemical Sensors  2024- Visegrad, Hungary
• J. Volk, J. M. Bozorádi, F. Braun, A. Nagy, L. Illés, J. Radó:  Ultra-Sensitive Force Gauge Accessory for Microscope Micromanipulators  Eurosensors XXXVI, 1-4 September, 2024, Debrecen, Hungary  https://static.akcongress.com/downloads/eurosensors/es2024-conference-program.pdf
• Tamás Zeffer, Tímea Nóra Török, László Pósa, Ferenc Braun, András Halbritter, János Volk: Towards fully hardware-based neuromorphic encoding for efficient vibration signal recognition  Eurosensors XXXVI, 1-4 September, 2024, Debrecen, Hungary  https://static.akcongress.com/downloads/eurosensors/es2024-conference-program.pdf
• Zsolt Zolnai, Z. Kis, Nguyen Q. Khánh, Zoltán Kovács, Gábor Battistig, László Szentmiklósi and János Volk: Effective neutron absorption and conversion with thin 10B4C layers   Eurosensors XXXVI, 1-4 September, 2024, Debrecen, Hungary  https://static.akcongress.com/downloads/eurosensors/es2024-conference-program.pdf
•  János Márk Bozorádi, Géza Papp, Zsófia Sz Bérces, Péter Fürjes: Characterization of Gastric Tissue Samples with MEMS Force Sensor Based Indentation method  Eurosensors XXXVI, 1-4 September, 2024, Debrecen, Hungary  https://static.akcongress.com/downloads/eurosensors/es2024-conference-program.pdf
• Lilia Bató, Péter Fürjes: Microfluidic device with integrated microelectrodes for enhanced EIS sensitivity Eurosensors XXXVI, 1-4 September, 2024, Debrecen, Hungary  https://static.akcongress.com/downloads/eurosensors/es2024-conference-program.pdf
• Ádám, B.Á. ; Spátay, S. ; Jávor, B. ; László, S. ; Illés, L. ; Fürjes, P. ; Tóth, T. ; Huszthy, P. ; Golcs, Á.  Atmospheric air plasma pre-activation and customizable covalent functionalization of PVDF-membranes of microtiter filter plates  SCIENTIFIC REPORTS 15 : 1 Paper: 3238 , 20 p. (2025) https://doi.org/10.1038/s41598-024-85040-5
• Bajtai, Eszter ; Kiss, Csaba ; Bakos, Éva ; Langó, Tamás ; Lovrics, Anna ; Schád, Éva ; Tisza, Viktória ; Hegedűs, Károly ; Fürjes, Péter ; Szabó, Zoltán et al., Therapy-induced senescence is a transient drug resistance mechanism in breast cancer   MOLECULAR CANCER 24 : 1 Paper: 128 , 31 p. (2025) https://doi.org/10.1186/s12943-025-02310-0
• Szomor, Zsombor ; Gyimah, Nafisat ; Pardy, Tamás ; Fürjes, Péter, Three-dimensional finite element modelling of chemical , nvironment in droplet-based microfluidic systems for drug therapy applications  PHYSICS OF FLUIDS 37 : 7 Paper: 072045 (2025) https://doi.org/10.1063/5.0275809
• Greil, Johannes ; Kiechle, Martina ; Papp, Adam ; Neumann, Peter ; Kovács, Zoltán ; Volk, Janos ; Schulz, Frank ; Wintz, Sebastian ; Weigand, Markus ; Csaba, György et al., The effect of Ga-ion irradiation on sub-micron-wavelength spin waves in yttrium-iron-garnet films  NANOTECHNOLOGY 36 : 13 Paper: 135301 , 6 p. (2025) https://doi.org/10.1088/1361-6528/adad7d
• Khánh, Nguyen Quoc; Horváth, Zsolt Endre ; Zolnai, Zsolt ; Petrik, Péter ; Pósa, László ; Volk, János, Effect of process parameters on co-sputtered Al(1-x)ScxN layer’s properties: Morphology, crystal structure, strain, band gap, and piezoelectricity   MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING 169 Paper: 107902 , 9 p. (2024) https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107902
• Nyáry, A. ; Balogh, Z. ; Vigh, M. ; Sánta, B. ; Pósa, L. ; Halbritter, A. , Voltage-time dilemma and stochastic threshold-voltage variation in pure-silver atomic switches,   PHYSICAL REVIEW APPLIED 21 : 1 Paper: 014027 , 8 p. (2024) https://doi.org/10.1103/PhysRevApplied.21.014027
• Baji, Zsofia ; Fogarassy, Zsolt ; Hakkel, Orsolya ; Szabó, Zoltán, Enhancing the nucleation in atomic layer deposition: A study on vanadium sulfide and oxide layers JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS 43 : 2 Paper: 022408 , 23 p. (2025) https://doi.org/10.1116/6.0004247
• Baji, Zsófia ; Fogarassy, Zsolt ; Sulyok, Attila ; Horváth, Zsolt Endre ; Szabó, Zoltán, Novel precursor for the preparation of vanadium sulfide layers with atomic layer deposition   JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS 43 : 2 Paper: 022405 , 15 p. (2025) https://doi.org/10.1116/6.0004127
• Szabó, Z. ; Beiler, B. ; Baji, Z., Broadband InGaAsP/InP NIR LEDs based on multiple photon-recycling photoluminescent layers,    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH 652 Paper: 128045 9p. (2025) https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2024.128045
• Baji, Zsófia ; Pécz, Béla ; Fogarassy, Zsolt ; Szabó, Zoltán ; Cora, Ildikó, Atomic layer deposited Fe-sulphide layers with pyrrhotite structure controlled by the deposition temperature   THIN SOLID FILMS 794 Paper: 140267 , 14 p. (2024) https://doi.org/10.1016/j.tsf.2024.140267
• Nanbakhsh, Kambiz ; Shah Idil, Ahmad ; Lamont, Callum ; Dücső, Csaba ; Akgun, Ömer Can ; Horváth, Domonkos ; Tóth, Kinga ; Meszéna, Domokos ; Ulbert, István ; Mazza, Federico et al., On the longevity and inherent hermeticity of silicon-ICs: evaluation of bare-die and PDMS-coated ICs after accelerated aging and implantation studies    NATURE COMMUNICATIONS 16 : 1 Paper: 12 , 17 p. (2025) https://doi.org/10.1038/s41467-024-55298-4
• Cora, I ; Baji, Zs ; Horváth, Zs E ; Szabó, Z ; Volk, J ; Fogarassy, Zs, In situ TEM examination of the monoclinic VO2 thin layer phase transformation to tetragonal VO2,   In: Nikša, Krstulović; Marko, Karlušić (szerk.) 19th Joint Vacuum Conference, Zágráb, Horvátország : Croatian Vacuum Society (2024) 95 p. pp. 88-88. Paper: P11 , 1 p. https://m2.mtmt.hu/gui2/?mode=browse&params=publication;35583277
• Baji, Zs. ; Pósa, L. ; Molnár, Gy. ; Vándorffy, J. Á. ; Neumann, P. ; Szabó, Z. ; Sulyok, A. ; Fogarassy, Z. ; Volk, J., Technological applicability of VO2 layers prepared with different approaches,   In: Nikša, Krstulović; Marko, Karlušić (szerk.) 19th Joint Vacuum Conference, Zágráb, Horvátország : Croatian Vacuum Society (2024) 95 p. pp. 85-85. Paper: P8 , 1 p. https://m2.mtmt.hu/gui2/?mode=browse&params=publication;35583277
• Balogh, Zoltan ; Nyáry, Anna ; Sánta, Botond ; Fehérvári, János Gergő ; Schmid, Sebastian Werner ; Pósa, László ; Csontos, Miklós ; Halbritter, András, Noise-Spectroscopy-Motivated Improvements in Memristor-Based Neuromorphic Applications: From Comprehensive Noise Analysis to Controlled Noise Manipulation Strategies, In: Proceedings of the Neuronics Conference, 2024 Valencia, Spanyolország : FUNDACIO DE LA COMUNITAT VALENCIANA SCITO (2024) Paper: 019 , 1 p., DOI Google scholar hash https://m2.mtmt.hu/gui2/?mode=browse&params=publication;35172036