Technológia

Home Kutatás Technológia

Technológiai lehetőségek

Partnereink és megrendelőink számára rendelkezésre álló technológiák:

  • Magas hőmérsékletű hőkezelés, diffúzió, oxidáció
  • Gyorshőkezelés
  • Poliszilícium, szilícium-nitrid és szilícium-dioxid alacsony nyomású kémiai gőzfázisú leválasztása (LPCVD)
  • Alacsony hőmérsékletű kémiai gőzfázisú leválasztás
  • Ionimplantáció
  • Vékonyréteg leválasztás – Elektronsugaras gőzölés, DC és RF porlasztás
  • Atomi rétegleválasztás (ALD)
  • Mély reaktív ionmarás (DRIE)
  • Fotolitográfia hátoldali illesztési- és nanoimprint lehetőséggel
  • Szeletkötés
  • Nedves kémiai műveletek
  • Elektrokémiai marás – pórusos szilícium készítés
  • Maszk tervezés és generálás
  • Elektromos és funkcionális minősítés