Projekt megnevezése: Mikrotechnológiai infrastruktúra korszerűsítése az európai kompatibilitás eléréséhez
Támogató: Pénzügyminisztérium
A projekt az Európai Unió és Magyarország Kormánya közös finanszírozása keretében az Európai Regionális Fejlesztési Alap támogatásával a Versenyképes Közép-Magyarország Operatív Program – Stratégiai K+F műhelyek kiválósága részben valósul meg.
Kedvezményezett: MTA Energiatudományi Kutatóközpont
Projekt azonosító: VEKOP-2.3.3-15-2016-00010
Konzorciumvezető/Témavezető: Dr. Dücső Csaba
A projekt támogatásának összege: 234 906 000 Ft
A projekt saját forrásának összege: 0 Ft
Támogatásintenzitás: 100%
Futamidő: 2017.04.01-2020.09.28
A projekt rövid leírása:
A projekt célja az MTA Energiatudományi Kutatóközpont Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet Mikrotechnológiai Laboratóriumának tisztaterében a meglévő elavult diffúziós kályha kiváltása egy korszerű berendezéssel, úgy hogy 4 dedikált csőkemencében, félvezető tisztasági követelmények mellett lehet Si kristályok magas hőmérsékletű megmunkálását lehessen végezni. Az új eszköz alapvető műveletei és a kályhák funkciói:
– Száraz és nedves oxidáció áramköri elemek előállításához
– Száraz és nedves oxidáció 3 D struktúrák kialakításához
– Magas hőmérsékletű (800-1100oC) aktivációs és diffúziós műveletek inert és oxidatív közegben
– Közepes hőmérsékletű (<550oC) hőkezelések semleges v. enyhén reduktív környezetben
A berendezés Uniós értékhatárt meghaladó, nyílt közbeszerzési eljárás lefolytatását követően telepítésre kerül az MTA EK MFA Mikrotechnológiai Laboratórium tisztaterében (1121 Budapest, Konkoly Thege Miklós út 29-33, KFKI telephely, 29. épület). Megtörténik a betanítás. A minták megvizsgálása megtörténik, és a minták megfelelnek a félvezető/MEMS technológiák szabta követelményeknek. A berendezéssel a laboratórium technológiája közelíti a megfelelő európai technológiai intézmények (egyetemek, kutatóintézetek) színvonalát és a csereszabatos minták készítésével lehetővé teszi a hatékonyabb együttműködést nemzetközi kutatási projektekben.
2019.09.10.
A diffúziós kályha beszerzésére kiírt nyílt közbeszerzési eljárását – harmadik körben – a Tetreon Technologies Limited cég nyerte. (Bővebben: https://www.kozbeszerzes.hu/ertesito/2019/0/targy/portal_403/megtekint/portal_16078_2019/) A berendezés telepítésére várhatóan 2020 júniusában kerül sor.
2020.09.26
A diffúziós kályhát 2020.szeptemberében telepítettük és teszteltük. A kályháról a videó az alábbi linken elérhető
https://www.mfa.kfki.hu/wp-content/uploads/2020/10/Diffuizos-kalyha-202009.avi
SAJTÓKÖZLEMÉNY
2020.10.26
Uniós támogatással létesített korszerű oxidációs kályha segíti az ipari szenzorfejlesztést az Energiatudományi Kutatóközpontban
Az ELKH Energiatudományi Kutatóközpont (ELKH EK) Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézetén belül működő Mikrotechnológiai Laboratórium félvezető technológiai tisztaterében nemrégiben üzembe helyezték azt az uniós támogatással létesített új oxidációs kályhát, amely a kutatást, az oktatást és az ipari szenzorfejlesztést segíti majd. A fejlesztés általános célja, hogy korszerűbbé tegye az ELKH EK mikrotechnológiai infrastruktúráját, és ezzel is elősegítse az európai kompatibilitás elérését.
Az infrastruktúrafejlesztési projekt keretében beszerzett oxidációs kályha a meglévő, elavult diffúziós kályhát váltja ki egy korszerű berendezéssel. A telepített kályha elengedhetetlen a félvezetőtechnológiai eljárásokkal előállított szilíciumalapú mikromechanikai chipek és szenzorok megmunkálásához. Az új eszköz a félvezető tisztaságú szilícium kristályszeletek száraz és nedves oxidációja mellett a technológiai igényeknek megfelelő közegben végzett hőkezelési eljárásokra is alkalmas a 300–1150 oC hőmérséklet-tartományban.
Az új berendezéssel a laboratórium általános technológiai színvonala és megbízhatósága is jelentős mértékben javul, ezért a projekt ezzel is hozzájárul a hagyományosan sikeres nemzetközi és hazai K+F projektek számának bővítéséhez, emellett újabbak kezdeményezése révén elősegíti a nagy európai K+F konzorciumokhoz történő kapcsolódást. Az új oxidációs kályha már jelenleg is nélkülözhetetlen technológiai berendezés többek között a H2020 ECSEL „Kísérleti gyártósor új generációs intelligens katéterek és implantátumok gyártására (POSITION II)” uniós projekt, a „Moore-trend az orvostechnikai innovációban (Moore4Medical)” projekt, illetve az orosz–magyar együttműködésben fejlesztett „Kis fogyasztású kalorimetrikus nanoszenzorok gázérzékelésre” című projekt szenzorfejlesztéseiben.
A nemzetközi kapcsolatok mellett kiemelt szerepet szánnak a hazai ipari igények kiszolgálásának és a felsőoktatási képzések aktív támogatásának is.
A projekt az Európai Unió és Magyarország Kormánya közös finanszírozásának keretében az Európai Regionális Fejlesztési Alap támogatásával, a Versenyképes Közép-Magyarország Operatív Program – Stratégiai K+F műhelyek kiválósága részben valósult meg, közel 235 millió forint keretösszeggel.
PRESS RELEASE
26th October, 2020
New oxidation furnace to strengthen the MEMS development in the Centre for Energy Research
A new oxidation furnace has been put in operation in the MEMS Laboratory of the Centre for Energy Research, a member of the Eötvös Lóránd Research Network. Financed by the European Union, the investment is a major step in the upgrade of the existing Si processing line, thereby facilitating both the R&D activities and higher education training in the field of sensor development and related material research.
The four tube system is set for dry and wet oxidation as well as for medium and high temperature annealing processes needed in Si based MEMS fabrication. The new is essential for the competitive R&D activity. This is well indicated by the ongoing international projects of the laboratory H2020 ECSEL „A pilot line for the next generation of smart catheters and implants (POSITIONII)” and “Enabling Moore for Medical (Moore4Med)” projects as well as by the Russian-Hungarian bilateral sensor development entitled “Low power consumption-type nanosensors for gas detecting in harsh environment”.
Besides the international activity, the research group of the Laboratory is highly committed to support the domestic industrial needs and higher education by hosting BSc and MSc students and offering PhD research topics.
The project value of total 235M HUF was jointly granted by the European Union and the Hungarian Government from the European Regional Development Funds, via the Competitive Central-Hungary Operative Programme – Strategic R&D centres.
A sajtóközlemény letölthető az alábbi linken magyar és angol nyelven. The press release can be downloaded in English and Hungarian by clicking the link below.
Sajtóközlemény – 2020.10.26 (Uniós támogatással létesített korszerű oxidációs kályha segíti az ipari szenzorfejlesztést az Energiatudományi Kutatóközpontban)