![](https://www.mfa.kfki.hu/wp-content/uploads/2020/10/VEKOP-2.3.3-15-2016-00010-4.jpg)
New oxidation furnace to strengthen the MEMS development in our institute
A new oxidation furnace has been put in operation in the MEMS Laboratory of the Centre for Energy Research, a member of the Eötvös Lóránd Research Network. Financed by the […]
![](https://www.mfa.kfki.hu/wp-content/uploads/2020/10/VEKOP-2.3.3-15-2016-00010-4.jpg)
Új oxidációs kályha segíti a szenzorfejlesztést az EK MFA-ban
Az Energiatudományi Kutatóközpont hazai és uniós forrásból beszerzett és a Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet a félvezető technológiai tiszta terében üzembe helyezett egy oxidációs kályhát, mely a kutatás, az oktatás […]