Mikrotechnológia

Mikrotechnológiai Laboratórium

Osztályvezető: Dr. Battistig Gábor
Hely: KFKI Campus, Building 29/A-B & 18/D
Kapcsolat: dragon@mfa.kfki.hu, +36-1-392-2616
Weboldal: www.mems.hu

Technológiai lehetőségek listája

A Stratégiai Kutatási Infrastruktúra hozzáférési szabályzata

A laboratórium fő feladata multidiszciplináris szenzorkutatás, új érzékelési elveken alapuló funkcionális nano- és mikroérzékelők megvalósítása, a kapcsolódó technológiák kidolgozása, az érzékelők rendszerbe integrálása és validálása. A kutatómunka technológiai tisztaterekben, szerelő és mérő-, valamint minősítő laborokban folyik.

  • A 2017-ben záródó EU FP7-es projekt keretében piezoelektromos ZnO egykristály nanoérzékelőket tapintásérzékelő tömbbe integráltak. Az ujjlenyomat 3D képének nagy felbontású ( > 1000 DPI ) rögzítésére alkalmas eszköz működését demonstrálták, az elkészült integrált rendszert validálták. A projekt elérte a kitűzött célokat és kiváló minősítést kapott.
  • A nemzetközi ENIAC INCITE projekt keretében a konzorciumi partnerekkel közösen a minimális sebészeti beavatkozást (Minimal Invasive Surgery) lehetővé tévő sebészeti robot fejlesztésében vettek részt. Az ebben az évben záródott projekt fő eredménye a 3D erőmérő szenzorok beépítése a laparoszkóp megfelelő helyeire és a robotkarokat vezérlő rendszerbe történt integrációjuk. Az eszközök minősítő mérései megtörténtek, különféle szövetek rugalmas tulajdonságait mérték ki és a tapintás-jellegű információt az operáló sebész számára kalibrálták. A Mikrotechnológiai Laboratóriumban kifejlesztett és az orvos-biológiai feladatra optimalizált piezorezisztív elven működő erőmérő szenzor alkalmazása nagymértében megnöveli a sebészeti beavatkozás biztonságát.
  • Ipari partnerek bevonásával polimer alapú Lab-on-a-chip mikrofluidikai rendszerekben a csatornák belső felületei nedvesítési tulajdonságainak és ez által a hidrodinamikai jellemzőinek irányított módosítását oldották meg. Ezáltal olyan komplex folyadékkezelő mikrofludikai chipek készíthetők, amelyben a folyadék csak a kapilláris-hatás révén, külső nyomás alkalmazása nélkül halad végig. Az eddig elért eredményekre alapozva egy új nyertes pályázaton (VEKOP - Gyors húgyúti baktérium-elemző mérőkészülék fejlesztése) kezdtek dolgozni az ipari partnerrel együtt.
  • A 2017-ben indult hazai pályázaton olyan szenzornodok fejlesztésén és megvalósításán kezdtek dolgozni, amelyek autonóm módon alkalmasak meghatározott jelek érzékelésére, a mért adatok elő-feldolgozására és rövidtávra történő vezeték-nélküli kommunikációra. Az egyes egységek energiaellátását a környezetből gyűjtött energia – vibrációs, fény, termikus – felhasználásával tervezik megoldani. Az első deszkamodellek biztató eredményeket mutatnak, alkalmazásukra több területen, ipari, mezőgazdasági vagy a smart city környezetben nyílik lehetőség.