Mikrotechnológia

Mikrotechnológiai és Félvezető Karakterizáció Osztály

Osztályvezető: Dr. Battistig Gábor
Hely: KFKI Campus, Building 29/A-B & 18/D
Kapcsolat: dragon@mfa.kfki.hu, +36-1-392-2616
Weboldal: www.mems.hu

Küldetés:

A Mikrotechnológiai Osztály fő feladata fizikai-, kémiai- és biokémiai érzékelő rendszerek kutatása, fejlesztése és rendszerintegrációja.

• MEMS technológiák, különös tekintettel a beágyazott Si CMOS áramkörök fejlesztésére;
• Különböző MEMS gáz-, kémiai-, biológiai-, termikus és mechanikus szenzorok érzékelők ill. érzékelő rendszerek fejlesztése és funkcionális tesztelése;
• Mikrofluidikai rendszerek fejlesztése;
• Közeli infravörös dióda alkalmazások és detektorok fejlesztése;
• Napelem cellák és iprai technológiák fejlesztése.

Alapkutatások:

• Érzékelő elvek;
• Új anyagok és nanostrukúrák;
• Új 3D megmunkálási technológiák;
• Ion-szilárdtest kölcsönhatások MEMS fejlesztésekhez.

Projektjeinkben felhasznált anyag- és eszközminősítési eljárások:

• Ionsugaras analízisek;
• IR és Raman szórás;
• Pásztázó szondás módszerek;
• Optikai- és elektronmikroszkópia (SEM, TEM, EDX);
• Spektroszkópiai ellipszometria;
• Elektromos mérések.

Az MFA Mikrotechnológiai Osztálya egy 300 m²-es, komplett Si CMOS technológiai sorral és maszklaborral rendelkező tisztateret (100-as és 1000-es tisztasági osztály) üzemeltet, mely egyedülálló Magyarországon. A laborhoz egy dinamikusan fejlődő CIGS napelemtechnológiai labor is tartozik, melyben 30×30 cm² felületű üveghordozók megmunkálásához porlasztó, gőzölő és lézeres trimmelő modulok kerültek felszerelésre.

Technológiai lehetőségek listája