Mikrotechnológia

Mikrotechnológiai és Félvezető Karakterizáció Osztály

Osztályvezető: Dr. Battistig Gábor
Hely: KFKI Campus, Building 29/A-B & 18/D
Kapcsolat: dragon@mfa.kfki.hu, +36-1-392-2616
Weboldal: www.mems.hu

Küldetés:

A Mikrotechnológiai Osztály fő feladata fizikai-, kémiai- és biokémiai érzékelő rendszerek kutatása, fejlesztése és rendszerintegrációja.

  • MEMS technológiák, különös tekintettel a beágyazott Si CMOS áramkörök fejlesztésére;
  • Különböző MEMS gáz-, kémiai-, biológiai-, termikus és mechanikus szenzorok érzékelők ill. érzékelő rendszerek fejlesztése és funkcionális tesztelése;
  • Mikrofluidikai rendszerek fejlesztése;
  • Közeli infravörös dióda alkalmazások és detektorok fejlesztése;
  • Napelem cellák és iprai technológiák fejlesztése.

Alapkutatások:

  • Érzékelő elvek;
  • Új anyagok és nanostrukúrák;
  • Új 3D megmunkálási technológiák;
  • Ion-szilárdtest kölcsönhatások MEMS fejlesztésekhez.

Projektjeinkben felhasznált anyag- és eszközminősítési eljárások:

  • Ionsugaras analízisek;
  • IR és Raman szórás;
  • Pásztázó szondás módszerek;
  • Optikai- és elektronmikroszkópia (SEM, TEM, EDX);
  • Spektroszkópiai ellipszometria;
  • Elektromos mérések.

Az MFA Mikrotechnológiai Osztálya egy 300 m2-es, komplett Si CMOS technológiai sorral és maszklaborral rendelkező tisztateret (100-as és 1000-es tisztasági osztály) üzemeltet, mely egyedülálló Magyarországon. A laborhoz egy dinamikusan fejlődő CIGS napelemtechnológiai labor is tartozik, melyben 30×30 cm2 felületű üveghordozók megmunkálásához porlasztó, gőzölő és lézeres trimmelő modulok kerültek felszerelésre.

Technológiai lehetőségek listája