Infrastruktúra
A “NEKIFUT” programban regisztrált Stratégiai Kutatási Infrastruktúra (SKI).
(a leírások PDF formátumban jelennek meg)
- MFA Spektroszkópia Labor
- MFA Ellipszometria Labor
Az Ellipszometriai Laboratórium szolgáltatási feltételei innen letölthetők - MFA Nanotechnológia Labor
- MFA Mikrotechnológia Labor
További elérhető kutatási eszközök, technológiák:
- Tiszta tér, technológiai laboratórium (Class 10-10000) és maszk tervezés és előállítás
- Speciális felületi akusztikus hullámszűrők (SAW) tervezése és kissorozatú gyártása
- Mikro-erőmérő szerkezetek kifejlesztése taktilis érzékelési célra; a tapintásérzékelésre, ill. nyomástérkép felvételére alkalmas sokelemes, 3 dimenziós mikro-erőmérőn alapuló integrált chip kidolgozása és gyártása
- Transzmissziós és Pásztázó Elektron Mikroszkópok, Auger Elektron Spektroszkópia és Pásztázó szondás módszerek
- Vékonyréteg előállítás, elektrosugaras gőzölés és porlasztás
- Ionsugaras analitikai laboratórium, ion implantáció
- Különféle optikai anyagvizsgálati módszrek, Ellipszometria
- Félvezető lézerek előállítása, Folyadékfázisú epitaxia
- Különféle számítógépes alkalmazások kifejlesztése és használata orvosi célokra, zajelnyomásra, biopotenciálok meghatározása
- Pórusos szilícium előállítás és alkalmazása különféle célokra
- Szén nanocsövek előállítása és fizikai tulajdonságaiknak meghatározása
- Nagynyomású, nagyhőmérsékletű sajtolók különféle tulajdonságú kerámiák előállítására, saját fejlesztésű kerámia-elemek kis sorozatú gyártása és értékesítése