Infrastruktúra

Home Kutatás Infrastruktúra

Infrastruktúra

A “NEKIFUT” programban regisztrált Stratégiai Kutatási Infrastruktúra (SKI).
(a leírások PDF formátumban jelennek meg)

További elérhető kutatási eszközök, technológiák:

  • Tiszta tér, technológiai laboratórium (Class 10-10000) és maszk tervezés és előállítás
  • Speciális felületi akusztikus hullámszűrők (SAW) tervezése és kissorozatú gyártása
  • Mikro-erőmérő szerkezetek kifejlesztése taktilis érzékelési célra; a tapintásérzékelésre, ill. nyomástérkép felvételére alkalmas sokelemes, 3 dimenziós mikro-erőmérőn alapuló integrált chip kidolgozása és gyártása
  • Transzmissziós és Pásztázó Elektron Mikroszkópok, Auger Elektron Spektroszkópia és Pásztázó szondás módszerek
  • Vékonyréteg előállítás, elektrosugaras gőzölés és porlasztás
  • Ionsugaras analitikai laboratórium, ion implantáció
  • Különféle optikai anyagvizsgálati módszrek, Ellipszometria
  • Félvezető lézerek előállítása, Folyadékfázisú epitaxia
  • Különféle számítógépes alkalmazások kifejlesztése és használata orvosi célokra, zajelnyomásra, biopotenciálok meghatározása
  • Pórusos szilícium előállítás és alkalmazása különféle célokra
  • Szén nanocsövek előállítása és fizikai tulajdonságaiknak meghatározása
  • Nagynyomású, nagyhőmérsékletű sajtolók különféle tulajdonságú kerámiák előállítására, saját fejlesztésű kerámia-elemek kis sorozatú gyártása és értékesítése