Infrastruktúra
Anyagvizsgálat:
Az intézetünkben található az ország egyetlen gömbi hiba korrigált elektronmikroszkópja (THEMIS), melyet az NKFIH a TOP50+ kiváló hazai kutatási infrastruktúra részének minősítette https://www.mfa.kfki.hu/kutatas/projektek/vekop-themis/ A laboratórium OPEN LAB jelleggel működik, a hozzáférési szabály itt elérhető: https://www.mfa.kfki.hu/wp-content/uploads/2024/05/hozzaferes-THEMIS_mikroszkop.pdf
Az infrastruktúra alapműszere a Thermofischer Scientific THEMIS 200-as TEM/STEM mikroszkóp. A mintapreparálást segítő berendezés a SCIOS2 dual beam, mely FIB-bel (Focussed ion beam) segíti a TEM lamellák kivágásában. A műszerparkot kiegészíti egy Thermofisher Scientific ESCALAB xi+, XPS, UPS, Auger, sokféle kiegészítővel.
Kiemelendő, hogy a 200 kV-os készülék alacsonyabb (pl. 80 keV) feszültségen is használható, ami lehetővé teszi érzékeny minták (szén szerkezetek, biológiai szerkezetek) vizsgálatát is. Felhasználási terület elsősorban a szilárdtest fizika, annak minden ága, félvezetők, fémek, ötvözetek, kerámiák, szervetlen és szerves nanoszerkezetek.
Mikrotechnológiai technológiai sor:
Magyarországon kizárólag az intézetünkben érhető el az egyedülálló komplex technológiai sort alkotó mikrotechnológiai tisztatér és kapcsolódó szaktudás. Ez a mikrotechnológiai tisztatér tartalmaz kb. 25 nagyberendezést, több kisebb technológiai eszközt, illetve karakterizáló berendezéseket több mint 350 m2-es 100-10000 fokozatú tisztatér környezetben. A laboratórium alkalmas
- 3” és 4” Si / üveg / polimer szeletek megmunkálására maximálisan 1µm közeli felbontással,
- 20 nm felbontású elektronsugaras litográfiára
- Preciziós chipbeültetésre flip-chip technikával
- Maszkkészítésre – lézeres ábragenerálás
- 30 nm felbontású fókuszált ionsugaras megmunkálásra
- Nedves kémiai műveletekre
- Magas hőmérsékletű műveletekre – oxidáció, diffúzió, hőkezelések
- Atmoszférikus és alacsonynyomású gőzfázisú kémiai leválasztásokra, ALD, LPCVD
- Fizikai rétegleválasztásokra – direkt fűtéses és elektronsugaras gőzölés, katódporlasztás
- Fotolitográfiára – lakkprocesszálás, maszkillesztés, levilágítás
- Nanoimprintingre
- Sík és nagy ionsűrűségű plazmamarásra
- Termikus és anódos szeletkötésre
- Szeletvágás, kiszerelés, tokozásra
- III-V félvezetők folyadékfázisú epitaxiájára
- Fizikai, anyagminőségi, optikai és elektromos minősítő mérésekre (SEM, EDX, AFM, tűsmérő stb.).
A tisztatéri szolgáltatások elérésével kapcsolatban a MFA Nanotechnológia Labor és MFA Mikrotechnológia Labor leírásait tekintsék át
A Fotonika Laboratórium széleskörű roncsolásmentes anyagvizsgálati szolgáltatásokat ajánl. Kérjük tekintse meg az ellipszométeres weblapunkat és az igénybe vehető szolgáltatások leírását (PDF)
További elérhető kutatási eszközök, technológiák:
- Speciális felületi akusztikus hullámszűrők (SAW) tervezése és kissorozatú gyártása
- Mikro-erőmérő szerkezetek kifejlesztése taktilis érzékelési célra; a tapintásérzékelésre, ill. nyomástérkép felvételére alkalmas sokelemes, 3 dimenziós mikro-erőmérőn alapuló integrált chip kidolgozása és gyártása
- Transzmissziós és Pásztázó Elektron Mikroszkópok, Auger Elektron Spektroszkópia és Pásztázó szondás módszerek
- Vékonyréteg előállítás, elektrosugaras gőzölés és porlasztás
- Ionsugaras analitikai laboratórium, ion implantáció
- Különféle optikai anyagvizsgálati módszrek
- Félvezető lézerek előállítása, Folyadékfázisú epitaxia
- Különféle számítógépes alkalmazások kifejlesztése és használata orvosi célokra, zajelnyomásra, biopotenciálok meghatározása
- Pórusos szilícium előállítás és alkalmazása különféle célokra
- Szén nanocsövek előállítása és fizikai tulajdonságaiknak meghatározása
- Nagynyomású, nagyhőmérsékletű sajtolók különféle tulajdonságú kerámiák előállítására, saját fejlesztésű kerámia-elemek kis sorozatú gyártása és értékesítése
Kérdésekkel, árajánlatkéréssel kapcsolatban keresse laborvezetőinket, vagy az adminisztrációnkat (mfa.admin @ mfa.kfki.hu)