Az Energiatudományi Kutatóközpont hazai és uniós forrásból beszerzett és a Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet a félvezető technológiai tiszta terében üzembe helyezett egy oxidációs kályhát, mely a kutatás, az oktatás és az ipari szenzorfejlesztés szolgálatába állt.
Az Energiatudományi Kutatóközpont Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézet Mikrotechnológiai Laboratóriumában átadták a VEKOP-2-3-3-15-2016-00010 infrastruktúra fejlesztési projekt keretében beszerzett oxidációs kályhát. A telepített kályha a félvezető technológiai eljárásokkal előállított szilícium alapú mikromechanikai chipek és szenzorok megmunkálásában alapvető berendezés – az egykristályok száraz és nedves oxidációja mellett a technológiai igényeknek megfelelő közegben végzett hőkezelési eljárásokra is alkalmas a 300-1150oC hőmérséklet tartományban.
Az új berendezéssel a Laboratórium általános technológiai színvonala és megbízhatósága is jelentős mértékben javult; ezzel is hozzájárul a hagyományosan sikeres nemzetközi és hazai K+F projektjeink számának bővítéséhez, újabbak kezdeményezéséhez és kapcsolódásunkhoz nagy európai K+F konzorciumokhoz.
Így pl. az uniós H2020 ECSEL „Kísérleti gyártósor új generációs intelligens katéterek és implantátumok gyártására (POSITION II) és a „Moore-trend az orvostechnikai innovációban (Moore4Medical)”, vagy az orosz–magyar együttműködésben fejlesztett „Kis fogyasztású kalorimetrikus nanoszenzorok gázérzékelésre” c. projektek szenzorfejlesztéseiben már jelenleg is nélkülözhetetlen technológiai berendezés.
A nemzetközi kapcsolatok mellett kiemelt szerepet szánunk a hazai ipar igényeinek kiszolgálásának és a felsőoktatási képzések aktív támogatásának. A projekt az Európai Unió és Magyarország Kormánya közös finanszírozása keretében az Európai Strukturális és Beruházási Alapok támogatásával a Versenyképes Közép-Magyarország Operatív Program – Stratégiai K+F műhelyek kiválósága részben valósult meg
Bővebb információ:
